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使用金像測量顯微鏡有哪些方法呢?
更新時間:2017-07-21 點擊次數(shù):2050
金像測量顯微鏡是采用用透、反射的方式對工件長度和角度作密測量。別適用于錄象磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它密零件的測試儀器。廣泛地適用于計量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。那么使用金像測量顯微鏡有哪些方法呢?
1.使用金像測量顯微鏡
影像法是利用顯微鏡中間的十字線標記,對影像進行瞄準定位的測量方法。測量時,通過十字線標記瞄準測量物體的影像邊緣,并在讀數(shù)顯鏡上讀出數(shù)值,然后移動工作臺以同條刻線瞄準測量物體的另邊,再作二次讀數(shù)。兩次讀數(shù)的差,是被測量物體的測量值。
2.使用顯微鏡的軸切法
軸切法是利用中央顯微鏡的標記對通過測件軸心線并利用測量刀上的刻線進行瞄準定位的自動化測量系統(tǒng)方法。其表面有刻線,刻線刃口的尺寸為0.3和0.9毫米兩種,測量時,把測量刀放在測量刀墊板上,刻線面通過測件的軸線,并使測刀的刃口和被測面緊緊接觸,用相應(yīng)的米字線去瞄準,測量兩把測刀刻線間的距離,間接測得被測件的測量值。為了避免測量中的計算,在中間垂直米字線的兩側(cè)刻有兩組共四條對稱分布的平行線,每組刻線對刻線的距離分別為0.9和2.7毫米,它正是測刀的刃口到刻線間的距離0.3和0.9毫米的3倍。這樣用3倍物鏡瞄準時,分劃板上的0.9和2.7毫米刻線正壓住測刀上的0.3和0.9毫米刻線,這時測刀上的刃口正被米字線的中間刻線所瞄準。
3.使用金像測量顯微鏡顯微鏡接觸法
接觸法是利用顯微鏡的標記對和緊靠測件測量點、線、面。測量時將光學(xué)測孔器的測頭緊靠件(內(nèi)、外)表面。當(dāng)測量孔徑時,先使測頭與測件內(nèi)孔接觸,取得大弦長后,使米字線中間刻線被光學(xué)測孔器的雙套線套在中間,并在讀數(shù)顯微鏡讀取數(shù);然后改變測量方向,使測頭在另側(cè)與測件接觸,同樣使米字線分劃板的中間刻線仍被光學(xué)測孔器的雙套線套在中間,在讀數(shù)顯微鏡上讀取另數(shù)。兩次讀數(shù)的差,再加上測頭直徑的實際值,即為測件的內(nèi)尺寸,如減去測頭直徑的實際值,即為測件的外尺寸。 

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